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华科大团队成功研发计算光刻EDA软件!该校机械学院刘世元教授团队成功研发我国首款完全自主可控的OPC(光学临近校正)软件,填补了我国在该领域的空白。相关成果正在做集成与测试,并到芯片生产厂商做验证。 , page 375
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