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要想实现1nm以下的更先进的制程,即便是ASML新一代0.55 NA EUV光刻机也束手无策。 近日美国一家旨在开发和商业化原子精密制造 (APM) 技术的公司Zyvex Labs 宣布推出了全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统“ZyvexLitho1”。 , page 40
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